微导纳米(688147) 事件 11月16日，公司披露关于向不特定对象发行可转换公司债券申请获得上海证券交易所受理的公告。 投资要点 半导体领域收入、订单高增长。2022年、2023年和2024年1-9月，半导体设备收入占主营业务收入的比重分别为6.87%、7.27%和19.15%，2024年1-9月新增订单中半导体新增订单的比重超过了30%。公司半导体业务收入和新增订单均保持着持续的高增长状态，新推出的CVD系列产品开始进入批量化验收阶段，半导体业务收入占比大幅度提升。下游半导体行业景气度上行，人工智能的部署，技术的持续迁移以及叠加先进制程需求，推动了头部存储企业、逻辑企业资本开支的增长，从而导致国产半导体设备需求的增加。公司持续加大在半导体领域的投入，加快了新产品和新工艺的推广，充分利用了核心客户的扩产机会，提升了半导体业务的比重。预计2024年全年，公司半导体产品工艺覆盖面、客户数量和订单规模将继续保持增长。 光伏薄膜设备领先优势持续加强。在光伏领域内，公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业之一，已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一。公司与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系，相关产品已在新型电池产线上得到下游客户广泛认可，在同类型产品中市场占有率位居第一梯队，并积极开拓海外市场以不断发掘收入增长点。同时，公司在CVD设备上也持续突破，针对TOPCon电池技术核心的隧穿氧化层与多晶硅薄膜研发了可镀导电膜的管式PECVDToxPoly集成技术方案，并成功将研发成果产业化，新技术在TOPCon的扩产浪潮中也逐步受到行业的认可，PEPoly设备的市场占有率不断攀升，客户群体包括通威股份、阿特斯、晶科能源、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。 拟向不特定对象发行可转债拟募集资金总额不超过人民币11.7亿元投资于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目、研发实验室扩建项目以及补充流动资金。1）半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目：本项目拟由公司实施，实施地址位于江苏省无锡市新吴区内，项目总投资额为67,000.00万元，拟使用本次募集资金金额为64,280.00万元。项目拟计划建设先进的生产车间，购置先进生产设备和量测设备，提升公司薄膜沉积设备的生产能力。本项目营业收入的测算系以公司同类型产品平均销售单价为基础，结合市场情况，并根据各年预计销量情况测算得出。项目建成后，达产年的预计销售收入为156,500.00万元。在产品技术路线上，相较前次募投项目的主要产品为ALD设备，本次募投项目除ALD设备外，还进行CVD设备的研发及生产。2）研发实验室扩建项目：本项目拟由公司实施，实施地址位于江苏省无锡市新吴区内，项目总投资额为43,000.00万元，拟使用本次募集资金金额为22,720.00万元。项目拟计划建设先进的研发洁净间，购置先进量测设备，优化公司研发测试环境，提升公司研发能力及科技成果转化能力。 投资建议 我们预计公司2024/2025/2026年分别实现收入25.18/35.63/44.41亿元，实现归母净利润分别为3.0/5.1/6.7亿元，当前股价对应2024-2026年PE分别为43倍、25倍、19倍，首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示 技术迭代及新产品开发风险；新产品验证进度及市场发展不及预期的风险；季节业绩波动的风险；经营业绩波动甚至出现亏损的风险；存货跌价的风险；研发投入未能有效转化的风险；应收账款不能按期回收的风险；行业周期波动和产业政策变化的风险；国际贸易摩擦加剧的风险。

     微导纳米(688147) 主要观点： 事件概况 微导纳米于2024年10月29日发布2024年三季度报告：2024年前三季度公司实现营业收入15.4亿元，同比增加51.2%；实现归属于母公司所有者的净利润为1.5亿元，同比下降2.8%。2024年第三季度公司实现营业收入7.6亿元，同比增长18.4%，环比增长22.9%；实现归属于母公司所有者的净利润1.1亿元，同比上升24.7%，环比增长174.8%。公司半导体和光伏领域内的产品工艺覆盖度和技术水平的持续提升，获得客户验收的设备数量增长，前期在手订单陆续实现收入转化，总体业绩稳健增长。 盈利性环比提升，存货及合同负债充沛 盈利性环比提升明显，研发投入增长。2024年前三季度公司毛利率为38.3%，同比下滑4pct；净利率为9.8%，同比下降5.4pct。2024年第三季度公司毛利率为38.3%，同比下降3.7pct，环比上升1.1pct；净利率为14.2%，同比上升0.7pct，环比增加7.9pct。2024年前三季度公司研发投入3.38亿元，同比增长82.0%，公司进一步扩充研发团队、加大研发投入、积极加快新产品研发活动。 存货及合同负债充沛。截至2024年三季度末，公司存货44.2亿元，同比增长55.9%；合同负债24.6亿元，同比下降25.0%；应收票据及应收账款7.8亿元，同比增长36.7%。2024年前三季度，公司经营活动产生的现金流量净额-2.0亿元，环比流出收窄。 光伏ALD优势显著，半导体及新兴应用领域设备持续推进 半导体：公司产品已涵盖了逻辑、存储、先进封装、化合物半导体等领域，其中超过75%的增量订单来自存储领域（新型存储、3D NAND和DRAM），行业重要客户需求表现强劲，形成批量的重复订单合计已超过7.5亿元。光伏：公司ALD产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。公司跟随下游厂商的量产节奏，持续优化XBC、钙钛矿、钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术，引领光伏行业技术迭代。新兴应用领域：公司继续执行ALD+CVD等镀膜平台化战略，持续在新兴领域进行前沿化开发，在光学、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的薄膜沉积技术应用前沿领域获得客户订单。 投资建议 考虑光伏行业景气度下行影响，我们调整预测公司2024-2026年营业收入分别为27.90/42.20/52.73亿元（前值为36.98/45.58/56.10亿元），归母净利润分别为3.10/5.26/7.26亿元（前值为4.75/5.77/7.99亿元），以当前总股本4.58亿股计算的摊薄EPS为0.7/1.1/1.6元。公司当前股价对2024-2026年预测EPS的PE倍数分别为42/25/18倍，考虑到公司在ALD领域具有领先优势，且在半导体领域持续突破，维持“增持”评级。 风险提示 1）光伏及半导体行业后续扩产不及预期的风险。2）技术迭代带来的创新风险。3）国内市场竞争加剧的风险。4）核心技术人员流失或不足的风险。5）测算市场空间的误差风险。6）研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。

     微导纳米(688147) 投资要点 半导体与光伏设备加速验收，Q3业绩稳步增长：2024年前三季度公司实现营收15.44亿元，同比+51.2%，主要系半导体与光伏设备验收数量增加；归母净利润1.51亿元，同比-2.8%；扣非净利润为1.14亿元，同比-0.7%，主要系研发投入增加。Q3单季营收为7.57亿元，同比+18.4%，环比+22.9%；归母净利润为1.08亿元，同比+24.7%，环比+174.8%；扣非净利润为1.03亿元，同比+47.9%，环比扭亏为盈。 Q3净利率环比持续改善，持续加大研发投入：2024年前三季度毛利率为38.34%，同比-4.0pct；销售净利率为9.76%，同比-5.4pct；期间费用率为27.70%，同比+1.2pct，其中销售费用率为3.64%，同比-2.1pct，管理费用率为9.55%，同比-0.4pct。研发费用率为13.27%，同比+2.2pct，财务费用率为1.24%，同比+1.5pct。2024Q1-Q3公司研发投入3.38亿元，同比+82.0%，占收入比例为21.89%，其中超过60%投向半导体领域。Q3单季毛利率为38.28%，同环比-3.7pct/+1.1pct；销售净利率为14.25%，同环比+0.7pct/+7.9pct。 存货&合同负债同比高增，Q3经营性现金流环比收窄：截至2024Q3末公司合同负债为24.59亿元，同比+25.0%；存货为44.16亿元，同比+56.5%，表明公司在手订单充足。Q3公司经营性现金流为-1.96亿元，现金净流出环比继续收窄。 立足ALD布局光伏&半导体，拓展CVD打开成长空间：（1）半导体领域：进入产业化验证阶段的ALD和CVD工艺种类不断增加，目前已开发工艺包括了HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3D DRAM、TSV技术等，并还在持续开发客户需求的IGZO、Nb2O5等新工艺。客户类型涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、硅基OLED等，其中超过75%的增量订单来自存储领域（新型存储、3DNAND、FERAM、RRAM和DRAM），形成批量的重复订单合计已超过7.5亿元。（2）光伏领域：2023年公司新签订单是去年同期的2.92倍，80%增量来自于行业前十大电池片厂商及上市公司客户，应用的技术路线覆盖了TOPCon、XBC和钙钛矿电池，设备类型以ALD设备为主，poly设备订单增长显著。 盈利预测与投资评级：盈利预测与投资评级：考虑到公司订单验收节奏与研发投入情况，我们下调微导纳米2024-2026年归母净利润分别至3.1（原值4.0）/5.2（原值6.2）/7.1（原值7.9）亿元，当前股价对应动态PE分别为38/23/17倍，维持“增持”评级。 风险提示：下游扩产不及预期，新品拓展不及预期。

     微导纳米(688147) 事项： 公司发布2024年三季报，2024Q3，公司实现营业收入7.57亿元，同比增长18.42%，实现归母净利润1.08亿元，同比增长24.74%。 平安观点： 前期订单陆续转化为收入，公司2024Q3业绩稳定增长。2024Q3，公司实现营收7.57亿元，同比增长18.42%，实现归母净利润1.08亿元，同比增长24.74%，实现扣非归母净利润1.03亿元，同比增长47.88%。2024年前三季度，公司实现营收15.44亿元，同比增长51.57%，主要原因为公司半导体和光伏领域内的产品工艺覆盖度和技术水平持续提升，获得客户验收的设备数量增长，前期在手订单陆续实现收入转化所致；实现归母净利润1.51亿元，同比下降2.78%，实现扣非归母净利润1.14亿元，同比下降0.73%，公司盈利端略显承压。 公司半导体业务进展迅速，预计2024年全年将保持快速增长态势。根据公司公众号信息，2024年前三季度，公司半导体业务快速放量，实现收入2.98亿元，同比大幅增长844.14%，占收入的比例为19.28%，较2023全年增长12.01pct。订单方面，2024年前三季度，公司半导体新增订单占比达到30.50%，较2023全年增长18.56pct，其中有超过80%的增量订单来自存储领域，CVD系列产品开始进入批量化验收阶段。 公司光伏产品加速迭代，推动行业技术升级。光伏领域，公司ALD连续多年保持市场领先地位并持续提升，Poly设备持续发力，规模达到行业前列。公司ALD产品持续更新迭代，推动光伏产业技术升级，其中，用于XBC电池的ALD设备在爱旭、隆基产线中占比领先，用于钙钛矿电池的板式ALD设备获得多家重要客户订单。 投资建议：公司ALD设备起家，逐渐拓展到CVD等领域，在半导体应用领域快速放量，增长势头迅猛，未来成长空间广阔。根据公司2024Q3报 以及对行业趋势的判断，我们调整了公司的业绩预测，预计公司2024-2026年归母净利润分别为4.37亿元（前值为5.45亿元）、6.63亿元（前值为7.38亿元）、8.98亿元（前值为9.00亿元），对应2024年10月30日收盘价的PE将分别为27.2X、17.9X、13.2X，公司在半导体领域处于高速发展期，目前体量较小但增速迅猛，未来占公司收入的比重将快速提升，潜力较大，前景可观，维持对公司“推荐”评级。 风险提示：（1）技术迭代及新产品开发风险。技术及应用领域的不断发展促使下游客户对薄膜沉积设备的性能要求不断变化，如果公司未能准确理解下游客户的产线设备及工艺技术演进需求，可能导致公司设备无法满足下游生产制造商的需要。（2）下游需求可能存在波动的风险。公司产品主要应用于半导体和光伏行业，如果半导体产业周期性波动或光伏产业扩产节奏放缓导致对设备的需求降低，可能对公司的经营业绩产生不利影响。（3）国际贸易摩擦加剧的风险。全球产业链和供应链重新调整及贸易摩擦等因素可能导致国外供应商减少或者停止对公司零部件的供应，进而影响公司产品生产能力、生产进度和交货时间，可能对公司的经营产生不利影响。

     微导纳米(688147) 事件: 微导纳米8月29日发布2024年中报：2024H1公司实现收入7.87亿元，同比增长105.97%；实现归母净利润0.43亿元，同比下降37.51%；实现扣非归母净利润0.11亿元，同比下降74.82%。 投资要点: 2024H1半导体、光伏收入同比高增。受管理费用和研发费用同比上升较多，以及公司根据信用风险计提坏账损失增加，2024H1公司业绩短期承压。分产品方面，2024H1公司光伏设备实现营业收入6.11亿元，同比增长84.76%；半导体设备实现营业收入1.52亿元，同比增长812.94%；配套产品及服务实现营业收入0.22亿元，同比下降36.89%。2024Q2公司实现营业收入6.16亿元，同比增长101.20%，环比增长261.04%；实现归母净利润0.39亿元，同比下降43.62%，环比增长999.05%；实现扣非归母净利润0.31亿元，同比下降36.37%，环比扭亏。 在手订单充足，存货、合同负债同比高增。截至2024年6月30日，公司在手订单80.85亿元（含Demo订单），其中光伏在手订单66.67亿元，半导体在手订单13.44亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单0.73亿元。截至2024年6月30日，公司存货为44.32亿元，同比增长112.05%；合同负债为24.59亿元，同比增长58.25%。 盈利能力短期承压，持续加大研发投入。2024H1公司毛利率为38.40%，同比下降4.60pct，净利率为5.44%，同比下降12.51pct。分业务，2024H1公司光伏设备毛利率为37.26%；半导体设备毛利率为37.45%；配套产品及服务毛利率为77.92%。2024Q2公司毛利率为37.15%，同比下降4.80pct，环比下降5.75pct，净利率为6.37%，同比下降16.37pct，环比增加4.28pct。2024H1公司期间费用率为34.47%，同比增长1.76pct，其中销售费用为0.38亿元，同比增长61.83%；管理费用为1.06亿元，同比增长183.46%；研发费用为1.21亿元，同比增长88.99%；财务费用为0.07亿元。 专注薄膜沉积工艺，平台化布局加速。据公司2024年半年报，1）半导体领域，公司进入产业化验证阶段的ALD和CVD工艺种类不断增加，客户类型覆盖逻辑、存储、化合物半导体、硅基OLED等，其中超过75%的增量订单来自存储领域（新型存3D NAND和DRAM），行业重要客户需求表现强劲，形成批量的重复订单合计已超过7.5亿元。2）光伏领域，公司应用于TOPCon电池的ALD设备市占率居第一梯队，PE-Tox+PE-Poly设备受到行业认可市占率快速提升，应用于XBC电池的ALD设备在爱旭、隆基已投产和拟投产的XBC电池生产线中占比保持领先，应用于钙钛矿电池的板式ALD设备获得多家客户订单，应用于钙钛矿/晶硅叠层电池的量产型管式ALD设备成功实现验收。3）新兴应用领域，公司在光学、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的薄膜技术前沿领域开始获得客户订单。 盈利预测和投资评级我们预计公司2024-2026年实现营业收入39.87、51.00、58.06亿元，实现归母净利润5.74、7.64、9.57亿元，现价对应PE分别为17、13、10倍，公司专注于ALD、CVD等薄膜沉积工艺，产品广泛应用于半导体、光伏、柔性电子等领域，未来成长可期，首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示下游扩产不及预期；新品研制及客户拓展不及预期；市场竞争加剧风险；研发布局与下游发展趋势不匹配；存货减值及应收账款等风险。

     微导纳米(688147) 主要观点： 事件概况 微导纳米于2024年8月29日发布2024年半年度报告：2024年上半年公司实现营业收入7.87亿元，同比增加105.97%；实现归属于母公司所有者的净利润为0.43亿元，同比下降37.51%；毛利率为38.4%，同比下滑3.13pct（按会计政策变更调整去年毛利率后）；净利率为5.44%，同比下降12.5pct。 2024年第二季度，公司实现营业收入6.16亿元，同比增长101.2%，环比增长261%；实现归属于母公司所有者的净利润0.39亿元，同比下降43.62%，环比增长999%；毛利率为37.15%，同比下滑4.8pct，环比下滑5.75pct；净利率为6.37%，同比下滑16.37pct，环比增加4.28pct。 在手订单持续增长，业务规模高增长 分业务来看，2024年上半年的主营业务中，公司光伏设备业务实现收入6.11亿，同比增长84.76%元，占比77.86%，毛利率为37.26%；半导体设备业务实现收入1.52亿元，同比增长812.94%，占比19.39%，毛利率为37.45%；配套产品及服务业务实现收入0.22亿，同比下降36.89%元，占比2.75%，毛利率为77.92%。 公司业务量不断扩大，在手订单金额持续增长。截至2024年6月30日，公司在手订单80.85亿元（含Demo订单），其中光伏在手订单66.67亿元，半导体在手订单13.44亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单0.73亿元。截至2024年6月30日，公司存货44.32亿元，较2023年底增加37.8%，合同负债24.59亿元，较2023年底增加25.63%，后续业绩高增有保障。 产品应用领域不断拓展，积极探索新兴应用领域 半导体：公司进入产业化验证阶段的ALD和CVD工艺种类不断增加，目前已开发工艺包括了HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3D DRAM、TSV技术等。客户类型涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、硅基OLED等，其中超过75%的增量订单来自存储领域，行业重要客户需求表现强劲，形成批量的重复订单合计已超过7.5亿元。此外，公司在新型存储、先进封装和硅基OLED领域内也取得较大的进展。2024年上半年，公司研发投入达到22,944.25万元，占收入比例29.15%，其中超过60%投向半导体领域。 光伏：公司应用于TOPCon电池的ALD设备市场占有率位居第一梯队，PE-Tox+PE-Poly设备受到行业的认可市场占有率快速增加；XBC电池的ALD设备在爱旭、隆基已投产和拟投产的XBC电池生产线中占比保持领先；在钙钛矿电池领域，应用于钙钛矿电池的板式ALD设备获得多家客户订单；在钙钛矿/晶硅叠层电池领域，量产型管式ALD设备成功实现验收。 新兴应用领域：公司已在新兴领域取得突破并逐步显现成果，在光学、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的薄膜沉积技术应用前沿领域开始获得客户订单。 投资建议 考虑光伏行业景气度下行影响公司验收节奏，我们调整预测公司2024-2026年营业收入分别为36.98/45.58/56.10亿元（前值为40.03/52.52/61.56亿元），归母净利润分别为4.75/5.77/7.99亿元（前值为6.26/7.59/9.15亿元），以当前总股本4.58亿股计算的摊薄EPS为1.0/1.3/1.7元。公司当前股价对2024-2026年预测EPS的PE倍数分别为20/17/12倍，考虑到公司在ALD领域具有领先优势，且在半导体领域持续突破，维持“增持”评级。 风险提示 1）光伏及半导体行业后续扩产不及预期的风险。2）技术迭代带来的创新风险。3）国内市场竞争加剧的风险。4）核心技术人员流失或不足的风险。5）测算市场空间的误差风险。6）研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。

     微导纳米(688147) 投资要点 业绩承压，半导体设备收入高增：2024上半年公司实现营收7.87亿元，同比+105.97%，主要系设备验收数量增加，其中光伏设备收入6.11亿元，同比+84.76%，占比77.64%；半导体设备收入1.52亿元，同比+812.94%，占比19.34%；配套产品及服务0.22亿元，同比-36.89%，占比2.74%；归母净利润0.43亿元，同比-37.51%；扣非净利润为0.11亿元，同比-74.82%，主要系研发投入增加，管理费用和研发费用上升较多，此外公司谨慎计提坏账损失有所增加。Q2单季营收为6.16亿元，同比+101.2%，环比+261.04%；归母净利润为0.39亿元，同比-43.62%，环比扭亏为盈。 Q2净利率环比改善，持续加大研发投入：2024上半年毛利率为38.40%，同比-4.60pct，其中光伏设备毛利率为37.3%，半导体设备毛利率为37.5%；销售净利率为5.44%，同比-12.50pct；期间费用率为32.7%，同比+1.74pct，其中销售费用率为4.83%，同比-2.78pct，管理费用率为13.42%，同比+3.67pct，主要系管理人员数量与薪酬相应增长，同时股权激励确认的股份支付费用增加。研发费用率为15.35%，同比-1.38pct，财务费用率为0.87%，同比+2.24pct。2024H1公司研发投入2.29亿元，占收入比例为29.15%，同比+134.05%，其中超过60%投向半导体领域。Q2单季毛利率为37.15%，同环比-4.8pct/-5.75pct；销售净利率为6.37%，同环比-16.37pct/+4.28pct。 存货&合同负债同比高增，半导体在手订单同比高增：截至2024Q2末公司合同负债为24.59亿元，同比+58%；存货为44.32亿元，同比+112%，表明公司在手订单充足。截止2024Q2末，公司在手订单80.85亿元（含Demo订单），其中光伏在手订单66.67亿元，同比+19%，半导体在手订单13.44亿元，同比+145%，新兴应用业务在手订单0.73亿元，同比-27%。Q2公司经营性现金流为-3.44亿元，现金净流出环比收窄。 立足ALD布局光伏&半导体，拓展CVD打开成长空间：（1）半导体领域：进入产业化验证阶段的ALD和CVD工艺种类不断增加，目前已开发工艺包括了HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3D DRAM、TSV技术等，并还在持续开发客户需求的IGZO、Nb2O5等新工艺。客户类型涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、硅基OLED等，其中超过75%的增量订单来自存储领域（新型存储、3D NAND、FERAM、RRAM和DRAM），形成批量的重复订单合计已超过7.5亿元。（2）光伏领域：2023年公司新签订单是2022年同期的2.92倍，80%增量来自于行业前十大电池片厂商及上市公司客户，应用的技术路线覆盖了TOPCon、XBC和钙钛矿电池，设备类型以ALD设备为主，poly设备订单增长显著。 盈利预测与投资评级：考虑到公司订单验收节奏与研发投入情况，我们下调公司2024-2026年归母净利润至4.0（原值6.3）/6.2（原值8.3）/7.9（原值9.2）亿元，当前股价对应动态PE分别为24/16/12倍，考虑到估值水平及成长性，维持“增持”评级。 风险提示：下游扩产不及预期，新品拓展不及预期。

     微导纳米(688147) 投资要点 事件：微导纳米在“第十六届集成电路封测产业链创新发展论坛（CIPA2024）”上首次发布了自主研发的“先进封装低温薄膜应用解决方案”。该方案针对半导体领域2.5D和3D先进封装技术的低温工艺特殊需求而设计，能够在50~200°C的低温温度区间内实现高均匀性、高质量、高可靠性的薄膜沉积效果。 公司发布的自研设备包括低温PECVD、PEALD、ALD等：（1）iTronixLTP系列低温PECVD系统适用于混合键合的介电层（ILD）、低k阻挡层和堆叠薄膜（BVR）；（2）iTomic PE系列PEALD适用于高深宽比的TSV衬垫，能够在极高深宽比的通孔内形成均匀且致密的绝缘层，保证器件性能的稳定；（3）iTomic MeT系列金属及金属氮化物ALD系统适用于高深宽比TSV的铜阻挡层，能够有效防止铜扩散，提高TSV的可靠性。当前公司正积极推动上述产品的市场导入，构建先发优势。 公司产品线已基本实现对泛半导体薄膜沉积设备各品类的全面覆盖：公司现有的ITomic系列ALD系统、MW批量式沉积系统、ITronix CVD系统等产品能够对逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体、新型显示（硅基OLED）中的薄膜沉积应用实现较为全面的覆盖，公司目前产品已经覆盖HfO？、Al？O3、ZrO？、TiO？、La？O3、ZnO、SiO？、TiN、TiAl、TaN、AlN、SiN、SiON、SiCN、无定形碳、SiGe等多种薄膜材料。随着微导产品矩阵持续丰富，公司将受益于国内半导体先进制程扩产。同时，通过拓宽产品的应用场景，能有效降低单一行业周期性波动给公司带来的不利影响。 看好薄膜沉积龙头设备商的差异化竞争：在ALD领域，微导纳米的工艺覆盖率约为70%至80%，涵盖了T-ALD的HiK、MeT以及PEALD的SiO2、SiN等材料，在国内ALD设备市场占据龙头地位；在PECVD领域，SiO2和SiN这两种材料沉积技术已经相当成熟，分别占市场份额的9%，微导纳米专注于高温硬掩模工艺（AHM），占比达到20%。从美国半导体设备产业的发展历程来看，并非仅有少数几家大型设备公司垄断市场，而是多家公司在各自的业务领域拥有专业优势，我们看好公司立足于ALD布局，拓展CVD打开成长空间。 盈利预测与投资评级：考虑到公司订单与新品拓展情况，我们维持微导纳米2024-2026年归母净利润分别为6.3/8.3/9.2亿元，当前股价对应动态PE分别为17/13/12倍，维持“增持”评级。 风险提示：下游扩产不及预期，新品拓展不及预期。

     微导纳米(688147) 主要观点： 事件概况 微导纳米于2024年4月28日发布2023年年度报告及2024年一季度报告：2023年公司实现营业收入16.80亿元，同比增加145.39%；实现归属于母公司所有者的净利润为2.70亿元，同比增长399.33%；毛利率为43.64%，同比增加1.33pct；净利率为16.10%，同比大幅增加8.19pct。 其中，2023年四季度，公司实现营业收入6.58亿元，同比增长119.78%，环比增长2.92%；实现归属于母公司所有者的净利润1.15亿元，同比增长100.89%，环比增长33.31%；毛利率为45.62%，同比下滑3.38pct，环比增加3.63pct；净利率为17.52%，同比下滑1.65pct，环比增加3.99pct。 2024年一季度，公司实现营业收入1.71亿元，同比增长125.27%；实现归属于母公司所有者的净利润为357.34万元，与去年同期亏损相比实现扭亏为盈；毛利率为42.90%，同比下滑4.31pct；净利率为2.09%，同比增加3.53pct。 在手订单充沛，光伏设备业务收入利润双增 分业务来看，2023年，公司光伏设备业务实现收入14.97亿元，占比89.23%，同比增长198.93%，毛利率43.81%，同比增加7.86pct；半导体设备业务实现收入1.22亿元，占比7.27%，同比增长159.57%，毛利率27.24%，同比减少10.00pct；配套产品及服务业务实现收入0.50亿元，占比3.00%，同比下降57.43%，毛利率71.42%，同比增加3.71pct。 公司业务量不断扩大，在手订单金额持续增长。2023年度公司新增订单总额约64.69亿元，是去年同期新增订单的2.96倍。截止至2024年3月31日，公司在手订单81.91亿元（含Demo订单），其中光伏在手订单70.26亿元，半导体在手订单11.15亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单0.50亿元。2023年，公司存货32.17亿元，同比增加229.85%；合同负债19.58亿元，同比增加213.16%，后续业绩高增有保障。 产品应用领域不断拓展，积极探索新兴应用领域 半导体：进入产业化验证阶段的ALD和CVD工艺种类不断增加，目前已开发工艺包括了HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3D DRAM、TSV技术等，并还在持续开发客户需求的IGZO、Nb2O5等新工艺。 1）iTomic系列ALD设备继续保持行业领先优势，在逻辑、存储领域内均新增行业重要客户的订单，尤其在新型存储领域已取得批量重复订单。2）iTronix系列CVD设备加速推广，在2023年7月首次出货至客户端进行产业化验证后，获得了半导体集成电路行业内重要客户的批量重复订单，并加速拓展开发客户需求的工艺设备。3）iTomic MW设备和iTomic Lite设备在存储、新型显示（硅基OLED）和化合物半导体领域内进展顺利，获得如京东方、合肥视涯、浙江宏禧等客户的订单，并于2023年首次取得验收，进入产业化应用阶段。 光伏：1）TOPCon：公司ALD设备市场占有率位居第一梯队并进一步大幅提升，PE-Tox+PE-Poly设备（隧穿氧化及掺杂多晶硅层设备）受到行业的认可市场占有率快速增加，PE-TOPCon工艺整线获得数十GW量产订单；2）XBC：于2023年顺利获得客户验收，且在爱旭、隆基已投产和拟投产的XBC电池生产线中，公司ALD产品占比保持领先；3）钙钛矿：首台应用于钙钛矿晶硅叠层电池管式ALD量产设备取得客户验收，应用于钙钛矿电池的板式ALD设备获得行业头部客户百兆瓦级量产设备订单。 新兴应用领域：公司新增立项多项新兴产业应用项目，分布于柔性镀膜、芯片封装、光学超低减反膜沉积、新能源等细分应用领域镀膜环节。截止2024年4月28日，1）已研发推出了柔性电子二代机；2）应用于车规级芯片ALD设备完成首次出货（海外客户）；3）首台光学领域镀膜设备顺利发货，其他项目也在有序推进中。 投资建议 考虑订单高增及盈利能力提升明显，我们上调预测公司2024-2026年营业收入分别为40.03/52.52/61.56亿元（24-25年前值31.81/44.12亿元），归母净利润分别为6.26/7.59/9.15亿元（24-25年前值3.64/5.59亿元），以当前总股本4.54亿股计算的摊薄EPS为1.38/1.67/2.01元。公司当前股价对2024-2026年预测EPS的PE倍数分别为22/19/15倍，考虑到公司在ALD领域具有领先优势，且在光伏及半导体领域拓展具备较大业绩弹性，维持“增持”评级。 风险提示 1）光伏及半导体行业后续扩产不及预期的风险。2）技术迭代带来的创新风险。3）国内市场竞争加剧的风险。4）核心技术人员流失或不足的风险。5）测算市场空间的误差风险。6）研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。

     微导纳米(688147) 事项： 公司发布2023年报及2024年一季报，2023年公司实现营收16.80亿元，同比增长145.39%，实现归母净利润2.70亿元，同比增长399.33%；2024Q1公司实现营收1.71亿元，同比增长125.27%，实现归母净利润357万元，同比扭亏为盈。公司2023年度利润分配方案：拟向全体股东每10股派发现金红利0.85元（含税）。 平安观点： 公司业绩高增，在手订单充裕。2023年，公司实现营收16.80亿元，同比增长145.39%，实现归母净利润2.70亿元，同比增长399.33%，实现扣非归母净利润1.88亿元，同比增长849.89%；2024Q1，公司实现营收1.71亿元，同比增长125.27%，实现归母净利润357万元，同比扭亏为盈，公司业绩快速增长，主要原因为公司在手订单陆续实现收入转化，专用设备产品验收数量增长所致。此外，公司在手订单较为充裕，为后续业绩持续增长奠定基础。2023年度，公司新增订单总额约64.69亿元，是2022年同期新增订单的2.96倍，截止2024年3月31日，公司在手订单81.91亿元（含Demo订单），其中光伏在手订单70.26亿元（2023年度新增订单是2022年的2.92倍），半导体在手订单11.15亿元（超75%的增量订单来自存储领域），产业化中心新兴应用领域（光学、柔性电子、车规级芯片等）在手订单0.50亿元。 公司坚持创新驱动，保持高强度研发投入和成果转化力度。公司坚持自主创新，持续加大研发投入，巩固现有技术优势，拓展并深化产业前瞻领域的应用。2023年，公司研发投入3.08亿元，占收入比例超过18.34%，其中约50%投向半导体领域，研发投向包括逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等项目。在持续强化技术壁垒的同时，公司高度重视技术保护工作，完善专利布局，报告期内，公司新增各类专利申请146项，新增专利授权35项，累计授权专利达到137项。公司新增专利申请及授权数量再创新高，知识产权布局进一步强化。 半导体领域，公司已成功进入数家行业知名客户产线并实现客户端工艺验证，客户数量进一步增加，尤其在存储领域客户拓展取得显著成效。分产品来看，公司iTomic系列ALD设备继续保持行业领先优势，在逻辑、存储领域内均新增行业重要客户的订单，尤其在新型存储领域已取得批量重复订单；iTronix系列CVD设备加速推广，在2023年7月首次出货至客户端进行产业化验证后，获得了半导体集成电路行业内重要客户的批量重复订单，并加速拓展开发客户需求的工艺设备；iTomicMW设备和iTomic Lite设备在存储、新型显示（硅基OLED）和化合物半导体领域内进展顺利，获得如京东方、合肥视涯、浙江宏禧等客户的订单，并于报告期内首次取得验收，进入产业化应用阶段。 光伏领域，公司ALD设备继续保持领先，并逐渐往CVD等领域拓展。公司ALD技术在TOPCon电池中已经取得良好应用，因ALD技术优异的保型性且薄膜材料密度一致，在TOPCon电池具有金字塔绒面的正面Al2O3钝化层制备中，公司的ALD设备正成为主流技术路线。同时，公司还基于PEALD、PECVD等多种真空薄膜技术，开发多款不同技术路线的产品，已推出的PE-ToxPoly设备产业化进展顺利，客户认可度较高，市场占有率快速提升，由公司开发的行业内首条GW级PE-TOPCon工艺整线已经获得客户验收，带动行业内TOPCon电池的量产导入。此外，公司在双面Poly、XBC、异质结/钙钛矿叠层电池等新一代高效电池方面也在进行技术储备与布局。 投资建议：公司ALD设备起家，并逐渐拓展到CVD等领域，在半导体和光伏领域有广泛应用，具备较强的卡位优势，在手订单规模充裕，未来业绩长期增长的趋势较为明确。根据公司2023年报&2024年一季报以及对行业趋势的判断，我们调整了公司的业绩预测，预计公司2024-2026年EPS分别为1.20元（前值为1.00元）、1.62元（前值为1.40元）、1.98元（新增），对应2024年4月29日的收盘价，公司在2024-2026年的PE将分别为27.1X、20.0X、16.4X，公司基本面良好，在手订单充裕，颇具增长潜力，维持对公司“推荐”评级。 风险提示：（1）技术迭代及新产品开发风险。技术及应用领域的不断发展促使下游客户对薄膜沉积设备的性能要求不断变化，如果公司未能准确理解下游客户的产线设备及工艺技术演进需求，可能导致公司设备无法满足下游生产制造商的需要。（2）下游需求可能存在波动的风险。公司产品主要应用于半导体和光伏行业，如果半导体产业周期性波动或光伏产业扩产节奏放缓导致对设备的需求降低，可能对公司的经营业绩产生不利影响。（3）国际贸易摩擦加剧的风险。全球产业链和供应链重新调整及贸易摩擦等因素可能导致国外供应商减少或者停止对公司零部件的供应，进而影响公司产品生产能力、生产进度和交货时间，可能对公司的经营产生不利影响。

     微导纳米(688147) 投资要点 业绩高速增长，ALD设备进入收获期：2023年公司实现营业收入16.8亿元，同比+145%，其中光伏设备营收15.0亿，同比+199%，占比89%，半导体设备收入1.2亿元，同比+160%，占比7%；归母净利润2.7亿元，同比+399%；扣非归母净利润1.9亿元，同比+850%。2024Q1公司实现营业收入1.7亿元，同比+125%；归母净利润0.04亿元，同比+428%。 盈利能力显著提升：2023年公司毛利率为43.6%，同比+1.3pct，其中光伏设备毛利率43.8%，同比+8pct，半导体设备毛利率27.2%，同比-10pct；销售净利率为16.1%，同比+8.2pct；期间费用率为25.3%，同比-8.8pct，其中销售费用率为5.0%，同比-1.6pct，管理费用率（含研发）为20.2%，同比-7.3pct，财务费用率为0.04%，同比+0.1pct。2024Q1公司毛利率为42.9%，同比-4.3pct；销售净利率为2.1%，同比+3.5pct；期间费用率为66.7%，同比-10.7pct，其中销售费用率为10.3%，同比-4.0pct，管理费用率（含研发）为57.3%，同比-7.5pct，财务费用率为-0.9%，同比+0.8pct。 合同负债&存货大幅增长，在手订单充沛保障业绩增长：截至2024Q1末公司合同负债为23.2亿元，同比+145%，存货为40.7亿元，同比+181%。2023年公司新签订单总额约64.69亿元，是2022年同期新增订单的2.96倍。截止至2024Q1末，公司在手订单81.91亿元（含Demo订单），其中光伏在手订单70.26亿元，半导体在手订单11.15亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单0.50亿元。 立足ALD布局光伏&半导体，拓展CVD打开成长空间：（1）半导体领域：进入产业化验证阶段的ALD和CVD工艺种类不断增加，目前已开发工艺包括了HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3D DRAM、TSV技术等，并还在持续开发客户需求的IGZO、Nb2O5等新工艺。2023年公司客户类型涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、硅基OLED等，其中超过75%的增量订单来自存储领域（新型存储、3D NAND和DRAM），形成批量的重复订单合计已超过5亿元。（2）光伏领域：2023年公司新签订单是2022年同期的2.92倍，80%增量来自于行业前十大电池片厂商及上市公司客户，应用的技术路线覆盖了TOPCon、XBC和钙钛矿电池，设备类型以ALD设备为主，poly设备订单增长显著。 盈利预测与投资评级：考虑到公司在手订单情况，我们调整微导纳米2024-2026年归母净利润分别为6.3（原值6.0）/8.3（原值8.1）/9.2亿元，当前股价对应动态PE分别为分别24/18/16倍，维持“增持”评级。 风险提示：若光伏下游装机量和扩产不及预期，晶圆厂资本开支下滑。

     微导纳米(688147) 投资要点： 事件：公司近日发布2023年业绩预告，23年预计实现营业收入16.50亿元，同比+141.05%，预计实现归母净利润2.80亿元，同比+417.08%，预计实现扣非净利润2.00亿元，同比+909.78%。据此，Q4单季度预计实现归母净利润约1.25亿元，同比+117.63%，环比+44.42%。业绩实现高速增长。 ALD设备龙头，订单获取能力优秀。公司是ALD设备龙头，依托ALD技术拓展光伏&半导体领域，提供镀膜环节各类解决方案。2023年公司新增订单金额64.7亿，同比+196%，其中半导体领域新增订单同比+229%，光伏领域新增订单同比+192%。 光伏设备：公司核心产品ALD设备的市场占有率继续保持领先，同时逐步丰富产品矩阵，提供ALD、PECVD、PEALD、扩散退火等多种定制化产品和TOPCon整线工艺解决方案。公司在TOPCon、XBC、钙钛矿等电池技术领域均有产品出货。在XBC电池领域，爱旭、隆基已投产和拟投产的电池生产线中，公司的ALD产品占比保持领先。在钙钛矿电池领域，公司已获得国内客户百兆瓦级量产设备订单。各类产品中，可用于SnO2、NiOx、Al2O3、阻隔封装等工艺技术设备已获得多个客户的认可。 半导体设备：延续ALD设备优势的同时，成功推出有市场竞争力的CVD设备，并顺利获得批量重复订单。报告期内，公司部分设备成功进入数家行业知名客户产线并实现客户端工艺验证，已覆盖逻辑、存储、硅基OLED和第三代半导体等细分领域。ALD技术具有薄膜厚度精确度高、均匀性好、台阶覆盖率高、沟槽填充性能佳等优势，在45nm以下节点以及3D结构等先进半导体薄膜沉积环节具有较好的应用前景。根据SEMI行业统计，半导体薄膜技术领域，ALD未来几年市场的复合增长率达26.3%，超过半导体设备行业的平均增速。 投资建议：公司是ALD设备龙头，ALD技术有自限制性优势，在薄膜沉积时拥有精确度高和台阶覆盖率高等优势，在光伏、半导体等领域均有较多应用，下游市场广阔。我们预计公司2023-2025年归母净利润分别为2.80、5.17、7.20亿元，对应的EPS分别为0.62元、1.14元、1.58元，对应2024年1月31日股价，PE分别为51.15倍、27.72倍和19.91倍，首次覆盖给予公司“增持”评级。 风险提示：新产品研发及推广不及预期，半导体市场竞争加剧，光伏下游需求不及预期。

     微导纳米(688147) 投资要点 微导纳米为ALD设备龙头，依托这一平台型技术拓展光伏&半导体领域的应用。微导纳米成立于2015年，将ALD应用至光伏（2022年收入占比73%）、半导体（2022年收入占比7%）、新型显示等领域。 ALD技术：自限制性优势明显，应用领域广泛。相较于PVD、CVD等薄膜沉积技术，ALD最大的特点在于自限制性，这一特点使其具备薄膜控制精确度高和台阶覆盖率高的优势，特别适合在对薄膜质量要求高和内部结构复杂的领域应用，包括光伏、半导体等。 光伏ALD适用多条技术路线，微导纳米为国内龙头。ALD设备可用于PERC、TOPCon、钙钛矿等，公司均有相应布局，ALD设备市占率领先，并拓展了PECVD、PEALD、扩散退火、TOPCon整线工艺解决方案等，受益于下游扩产，2023年公司光伏领域新签订单为去年同期的2.92倍。 半导体先进逻辑及存储领域ALD渗透率提升。随着45nm以下先进制程的发展，原来用于成熟制程的PVD、CVD等无法满足部分工序要求，ALD的应用环节逐步拓宽，其膜厚精度控制和高台阶覆盖率的特性适合在45nm以下节点以及复杂的3D结构等领域应用。（1）逻辑：45nm先进制程下栅介质层适用high-K材料，ALD适用于沉积该种材料，20nm先进制程下器件由MOSFET转向结构更复杂的FinFET，5nm以下向GAAFET转变，ALD高覆盖率的优势显著；（2）存储：3D NAND、DRAM等存储器件的复杂结构需要高深宽比，ALD具备良好的台阶覆盖能力。 存储领域空间更大&头部存储器厂有望重启扩产，微导纳米为ALD龙头充分受益。相较于逻辑，ALD在存储领域具备更大的市场，相近制程下存储所需的ALD设备数量约为逻辑的4-5倍；一线存储厂商2023年受政策影响扩产暂缓，未来随着国产技术突破及国产设备引入，资本开支有望加速，利好国产设备商，目前ALD设备TEL和ASM合计占比约75%，微导纳米为国内ALD领军者，逻辑&存储市场开拓顺利，2023年半导体领域新签订单是去年同期的3.29倍。 依托ALD技术延展性&客户协同性，微导纳米布局CVD设备。CVD市场空间约为ALD的2-3倍且国产化率仍有待提升，如拓荆科技在PECVD和SACVD市场份额分别为17%和25%，微导纳米进一步拓展CVD设备，进行差异化竞争，以打开更大的市场空间。 盈利预测与投资评级：我们预计微导纳米2023-2025年归母净利润分别为2.8/6.0/8.1亿元，当前股价对应动态PE分别为分别57/27/20倍，首次覆盖给予“增持”评级。 风险提示：光伏下游装机量和扩产不及预期，晶圆厂资本开支下滑的风险，研发进展不及预期。