微导纳米(688147) 投资要点： 事件：公司近日发布2023年业绩预告，23年预计实现营业收入16.50亿元，同比+141.05%，预计实现归母净利润2.80亿元，同比+417.08%，预计实现扣非净利润2.00亿元，同比+909.78%。据此，Q4单季度预计实现归母净利润约1.25亿元，同比+117.63%，环比+44.42%。业绩实现高速增长。 ALD设备龙头，订单获取能力优秀。公司是ALD设备龙头，依托ALD技术拓展光伏&半导体领域，提供镀膜环节各类解决方案。2023年公司新增订单金额64.7亿，同比+196%，其中半导体领域新增订单同比+229%，光伏领域新增订单同比+192%。 光伏设备：公司核心产品ALD设备的市场占有率继续保持领先，同时逐步丰富产品矩阵，提供ALD、PECVD、PEALD、扩散退火等多种定制化产品和TOPCon整线工艺解决方案。公司在TOPCon、XBC、钙钛矿等电池技术领域均有产品出货。在XBC电池领域，爱旭、隆基已投产和拟投产的电池生产线中，公司的ALD产品占比保持领先。在钙钛矿电池领域，公司已获得国内客户百兆瓦级量产设备订单。各类产品中，可用于SnO2、NiOx、Al2O3、阻隔封装等工艺技术设备已获得多个客户的认可。 半导体设备：延续ALD设备优势的同时，成功推出有市场竞争力的CVD设备，并顺利获得批量重复订单。报告期内，公司部分设备成功进入数家行业知名客户产线并实现客户端工艺验证，已覆盖逻辑、存储、硅基OLED和第三代半导体等细分领域。ALD技术具有薄膜厚度精确度高、均匀性好、台阶覆盖率高、沟槽填充性能佳等优势，在45nm以下节点以及3D结构等先进半导体薄膜沉积环节具有较好的应用前景。根据SEMI行业统计，半导体薄膜技术领域，ALD未来几年市场的复合增长率达26.3%，超过半导体设备行业的平均增速。 投资建议：公司是ALD设备龙头，ALD技术有自限制性优势，在薄膜沉积时拥有精确度高和台阶覆盖率高等优势，在光伏、半导体等领域均有较多应用，下游市场广阔。我们预计公司2023-2025年归母净利润分别为2.80、5.17、7.20亿元，对应的EPS分别为0.62元、1.14元、1.58元，对应2024年1月31日股价，PE分别为51.15倍、27.72倍和19.91倍，首次覆盖给予公司“增持”评级。 风险提示：新产品研发及推广不及预期，半导体市场竞争加剧，光伏下游需求不及预期。

     微导纳米(688147) 投资要点 微导纳米为ALD设备龙头，依托这一平台型技术拓展光伏&半导体领域的应用。微导纳米成立于2015年，将ALD应用至光伏（2022年收入占比73%）、半导体（2022年收入占比7%）、新型显示等领域。 ALD技术：自限制性优势明显，应用领域广泛。相较于PVD、CVD等薄膜沉积技术，ALD最大的特点在于自限制性，这一特点使其具备薄膜控制精确度高和台阶覆盖率高的优势，特别适合在对薄膜质量要求高和内部结构复杂的领域应用，包括光伏、半导体等。 光伏ALD适用多条技术路线，微导纳米为国内龙头。ALD设备可用于PERC、TOPCon、钙钛矿等，公司均有相应布局，ALD设备市占率领先，并拓展了PECVD、PEALD、扩散退火、TOPCon整线工艺解决方案等，受益于下游扩产，2023年公司光伏领域新签订单为去年同期的2.92倍。 半导体先进逻辑及存储领域ALD渗透率提升。随着45nm以下先进制程的发展，原来用于成熟制程的PVD、CVD等无法满足部分工序要求，ALD的应用环节逐步拓宽，其膜厚精度控制和高台阶覆盖率的特性适合在45nm以下节点以及复杂的3D结构等领域应用。（1）逻辑：45nm先进制程下栅介质层适用high-K材料，ALD适用于沉积该种材料，20nm先进制程下器件由MOSFET转向结构更复杂的FinFET，5nm以下向GAAFET转变，ALD高覆盖率的优势显著；（2）存储：3D NAND、DRAM等存储器件的复杂结构需要高深宽比，ALD具备良好的台阶覆盖能力。 存储领域空间更大&头部存储器厂有望重启扩产，微导纳米为ALD龙头充分受益。相较于逻辑，ALD在存储领域具备更大的市场，相近制程下存储所需的ALD设备数量约为逻辑的4-5倍；一线存储厂商2023年受政策影响扩产暂缓，未来随着国产技术突破及国产设备引入，资本开支有望加速，利好国产设备商，目前ALD设备TEL和ASM合计占比约75%，微导纳米为国内ALD领军者，逻辑&存储市场开拓顺利，2023年半导体领域新签订单是去年同期的3.29倍。 依托ALD技术延展性&客户协同性，微导纳米布局CVD设备。CVD市场空间约为ALD的2-3倍且国产化率仍有待提升，如拓荆科技在PECVD和SACVD市场份额分别为17%和25%，微导纳米进一步拓展CVD设备，进行差异化竞争，以打开更大的市场空间。 盈利预测与投资评级：我们预计微导纳米2023-2025年归母净利润分别为2.8/6.0/8.1亿元，当前股价对应动态PE分别为分别57/27/20倍，首次覆盖给予“增持”评级。 风险提示：光伏下游装机量和扩产不及预期，晶圆厂资本开支下滑的风险，研发进展不及预期。