至纯科技(603690) 事件： 1.公司发布2023年年度报告，2023年度实现营收31.51亿元，同比增加3.33%；实现归属于母公司所有者净利润3.77亿元，同比增加33.58%；实现扣非归母净利润1.02亿元，同比减少64.25%。 2.从Q4单季度业绩来看，实现营收9.52亿元，同比减少15.27%，环比增加32.47%；实现归属于母公司所有者净利润1.81亿元，同比增加51.29%，环比增加107.49%；实现扣非归母净利润-0.49亿元。 3.公司发布2024年第一季度报告，2024Q1实现营收8.11亿元，同比增加3.48%，环比减少14.80%；实现归属于母公司所有者净利润0.64亿元，同比增加1.45%，环比减少64.91%；实现扣非归母净利润0.63亿元，同比增加8.64%。 23年营收同比略增，新增订单大幅提高： 公司2023年实现营业收入31.51亿元，同比增长3.33%，其中泛半导体收入为28.43亿元，同比增长5.37%；生物及制药收入为3.02亿元，同比减少13.00%。从订单角度来看，报告期内公司新增订单总额为132.93亿元，相较于2022年新签订单42.19亿元，同比增加215.1%，其中包含电子材料及专项服务5年~15年期长期订单金额86.61亿元，该部分长期订单的获得是公司经营战略中子战略之“将技术和产品服务化”的初步体现和成果。从盈利能力来看，2023年公司归母净利润同比增加33.58%，扣非归母净利润同比减少64.25%，主要系受到财务成本、折旧费用和仍在爬坡中的业务短期亏损的影响。 半导体清洗设备全面覆盖，高端产品不断突破： 公司旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一，能够覆盖晶圆制造中包括逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求。目前湿法设备在28纳米节点设备开发已经全部完成，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，至微也已取得部分工艺订单。另外，公司高端产品包括SPM高温硫酸、去胶、晶背清洗等清洗设备取得突破，并交付给多家国内主流晶圆厂。 投资建议： 我们预计公司2024年~2026年收入分别为41.89亿元、52.36亿元、60.22亿元，归母净利润分别为5.55亿元、7.04亿元、9.56亿元。考虑半导体行业回暖，半导体量检测设备国产替代加速，公司新产品研发顺利。给予公司2024年PE25.00X的估值，对应目标价36元。给予“买入-A”投资评级。 风险提示： 新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，行业与市场波动风险，国际贸易摩擦风险，产品生产成本上升风险。

     至纯科技(603690) 投资要点 2024年1月24日，公司发布《2023年年度业绩预增的公告》。 2023H2新增订单总额超百亿元，全年归母净利润同比预计增长50%以上。2024年1月11日，至纯科技发布《关于2023年度新增订单情况的公告》披露，2023年度，公司所处行业稳定发展，业务保持稳步增长，公司为客户全生命周期提供产品与服务的战略布局已经逐渐成型并取得了显著经营成果。2023年度公司新增订单总额为132.93亿元，其中包含电子材料及专项服务5年-15年期长期订单金额86.61亿元。截至2023年6月30日，公司新增订单总额为32.66亿元，同比增长38.28%；新增订单中73.65%为半导体行业，其余为泛半导体和生物医药行业；截至2023年6月30日，在手订单53.23亿元。依据公司《2023年年度业绩预增的公告》披露，预计2023年度实现归母净利润在4.24亿元-4.80亿元之间，与上年同期相比，将增加1.42亿元-1.98亿元之间，同比增长50.12%-69.95%。预计2023年度实现扣非归母净利润在1.9亿元-2.45亿元之间，同比下降14.17%-33.44%。2023年，公司主营业务发展稳定，本次业绩变动主要原因为非经常性损益的影响。公司本期非经常性损益变动主要为转让参股公司贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司部分股权产生投资收益约1.25亿元及其他公允价值变动等项目的影响。 募资用于单片湿法工艺模组/核心零部件研发，北方产业基地/启东基地二期项目。公司本次向特定对象发行募集资金不超过（含）人民币17.93亿元，募集资金扣除发行费用后将用于：单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目；至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北方产业基地项目；启东半导体装备产业化基地二期项目；补充流动资金或偿还债务。（1）单片湿法工艺模组/核心零部件研发，北方产业基地/启东基地二期项目：该项目基于公司现有28nm半导体湿法设备的研发及生产的技术积累，将针对14nm及以下工艺节点的高阶单片湿法工艺模块、单片式腔体及耐腐蚀性、高精密度的核心零部件进行研发及产业化。有助于满足14nm及以下高阶工艺节点的需求，提升在高深宽比条件下的湿法工艺模块研发能力，实现整机产品在14nm及以下的逻辑芯片及高密度存储芯片的制造应用。有利于提高公司半导体核心零部件研发水平，为将来自主生产奠定研发基础；有利于进一步加快国产替代的进程，巩固公司在国内的半导体湿法设备及关键零部件行业领先地位。（2）至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北方产业基地项目：该项目将基于公司现有成熟的半导体湿法设备以及系统集成及支持设备的工艺技术积累，同时基于北京经济技术开发区（亦庄）的半导体产业集聚和技术先进优势，在北京亦庄设立湿法设备、系统集成及支持设备及核心零部件的北方生产研发基地。项目达产后，公司预计将实现年产系统集成及支持设备30套、半导体湿法设备15台、半导体零部件2,610套的生产能力。（3）启东半导体装备产业化基地二期项目：该项目主要用于研发并量产炉管与涂胶显影等集成电路设备、光伏制绒清洗设备等泛半导体工艺设备，以及设备配套核心零部件等产品。项目建成并达成后，将形成年产炉管、涂胶显影等集成电路设备50套，光伏工艺设备120套，面板制程设备10套，系统集成及工艺设备逾3,000套，配套零部件逾30,000套的生产规模。 投资建议：2023年，全球半导体市场陷入低迷，终端市场需求疲软，下游需求低于预期。我们调整对公司原有业绩预测，2023年至2025年营业收入由原来42.71/50.88/58.74亿元调整为35.55/42.34/49.73亿元，增速分别为16.6%/19.1%/17.5%；归母净利润由原来5.23/6.76/8.79亿元调整为4.35/5.11/6.50亿元，增速分别为54.0%/17.4%/27.3%；对应PE分别为22.2/18.9/14.9倍。考虑到公司旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一，目前湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，至微也已取得部分工艺订单。维持买入-A建议。 风险提示：下游终端需求不及预期；新建晶圆厂进程不及预期；公司研发进展不及预期；国内外同行业竞争加剧，造成人才流失风险。

     至纯科技(603690) 公司2023Q4归母净利润同环比高增长，维持“买入”评级 公司发布2023年年度业绩预告，预计2023年归母净利润4.24-4.8亿元，同比+50.12~+69.95%；扣非净利润1.9-2.45亿元，同比-33.44%~-14.17%。其中，23Q4单季度归母净利润2.28-2.84亿元，同比+90.3%~+137.06%，环比+160.99%~+225.12%；扣非净利润0.39-0.94亿元，同比-60.84%~-5.74%，环比-42.51%~+38.39%。根据公司2023年度业绩预告，我们小幅上调公司盈利预测，预计2023/2024/2025年归母净利润为4.54/5.56/7.43亿元（前值为3.85/5.53/6.69亿元），预计2023/2024/2025年EPS为1.17/1.44/1.92元（前值为1.00/1.43/1.73），当前股价对应PE为22/18/13.4倍。公司作为国产湿法设备龙头，在半导体国产替代趋势下，市占率有望加速提升，维持“买入”评级。 非经常性损益增厚业绩，全年新签订单增长显著 2023年公司新签订单132.93亿元，相较于2022年新签订单42.19亿元，同比+215.1%。其中包含电子材料及专项服务5年-15年期长期订单86.61亿元。2023年主营业务发展稳定，本次业绩预增主要原因为非经常性损益的影响。公司2023年非经常性损益变动主要为转让参股公司威顿晶磷电子材料公司部分股权产生投资收益约1.25亿元及其他公允价值变动等项目的影响。 半导体设备持续推进，高纯系统集成及材料稳定增长 制程设备业务，公司具备28nm及以上湿法去胶、刻蚀、清洗、刷洗等湿法工艺全系列的设备研发生产能力，覆盖先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域。14nm以及7nm工艺需求的进阶功能研发有序推进，2023年公司已有数台订单交付客户，未来有望获得更多订单。公司以支持设备为主的高纯工艺系统集成业务2023H1订单再创新高，公司产品竞争力较强，未来仍有望保持良好增长。 风险提示：行业需求下降风险；晶圆厂资本开支下滑风险；技术研发不及预期。

     至纯科技(603690) 事件：10月30日，至纯科技发布2023年第三季度报告。公司2023年Q3实现营收7.19亿元，同比下降10.75%，环比增长3.35%；实现归母净利润0.87亿元，同比增长7.40%，环比增长89.55%；实现扣非净利润0.68亿元，同比下降23.08%。 营收利润环比改善。作为最初的高纯工艺系统的配套服务商，公司已向关键制程设备、工艺生产耗材及核心部件、关键生产环节配套服务方向发展，为半导体及相关高科技新兴产业客户提供湿法工艺整体解决方案。2023年以来半导体行业周期下行，下游市场需求较去年同期相对疲软，公司业绩短期承压，2023年Q3单季实现营收7.19亿元，同比下降10.75%。 利润端，2023年Q3公司毛利率为35.11%，同比提升0.48pct，期间费用率为23.41%。公司23Q3实现归母净利润0.87亿元，同比增长7.40%，环比增长89.55%；实现扣非净利润0.68亿元，同比下降23.08%。尽管行业景气度短期承压，但公司在设备电子材料业务依然在有序推进新产品开发。 高纯工艺系统增势良好，湿法设备研发进展顺利。公司作为国内最大的高纯工艺系统支持设备供应商，有效改变了国外气体公司的垄断格局，公司的核心客户均为中芯国际、华虹、长江存储、华为等知名企业。公司旗下的至微科技是国内湿法设备的主要供应商之一，目前湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进的制程节点上，也取得了部分工艺订单。公司的湿法设备应用于成熟制程的产品线拓展有序，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高。 积极扩建提升产能，加速布局零部件业务。公司积极布局与增长匹配的产能，启东设备制造基地二期厂房、海宁模组及精密制造基地均于今年交付启用并正式投产，同时日本子公司办公及厂房正式启用，为后续开拓海外市场奠定基础。2023年H1，大宗气业务已经稳定为公司贡献收入，同时大宗气站的新业务拓展进程顺利，合肥的晶圆再生和腔体部件再生的业务量进入稳定爬坡，TGM/TCM的驻厂服务有序开展，部分腔体部件开始验证。 投资建议：至纯科技作为国内高纯工艺系统的龙头企业，积极拓展前道清洗设备领域，同时顺应全球化趋势进行战略布局。我们预计公司2023-2025年营收为35.51/43.02/51.82亿元，归母净利润为3.81/4.87/6.35亿元，对应现价PE分别为28/22/17倍，我们看好公司在业内的领先设备，维持“推荐”评级。 风险提示：下游厂商扩产不及预期；零部件采购量不及预期；汇率波动加剧。

     至纯科技(603690) 事件： 公司发布2023年第三季度业绩报告。2023年前三季度公司实现营业收入21.99亿元，同比增长14.19%；归母净利润1.96亿元，同比增长20.54%；扣非净利润1.51亿元，同比下滑18.70%；基本每股收益0.56元/股。 单季度收入承压，利润环比有所改善 单季度来看，收入端承压，但是费用端管控得力，盈利能力有所提升。23Q3公司实现营业收入7.19亿元，同比下滑10.75%；归母净利润0.87亿元，同比增长7.40%；毛利率、净利率分别为35.11%、11.17%，同比+0.48pct、1.11pct，环比-1.01pct、+7.46pct。23Q3公司销售费用率、研发费用率下降明显，环比分别下滑2.81pct、5.42pct。 湿法设备拓展顺利，部分机台交付和验证进度国内领先 公司湿法设备应用于成熟制程的产品线拓展有序，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高。目前湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。应用于先进制程的高阶产品线，在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后，但在高温硫酸、FIN ETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司交付和验证进度都在国内领先。 盈利预测、估值与评级 考虑到半导体周期下行fab扩产延后，我们预计公司2023-2025年营业收入分别为35.48/44.84/56.70亿元（23/24年原值为38.62/47.05亿元），同比增速分别为16.35%/26.39%/26.43%；归母净利润分别为3.23/4.73/6.72亿元（23/24年原值为4.95/6.29亿元），同比增速分别为14.20%/46.65%/42.05%，EPS分别为0.83/1.22/1.74元/股，3年CAGR为33.50%。鉴于公司半导体清洗设备逐步起量，参照可比公司估值，我们给予公司2024年30倍PE，目标价36.70元，维持“买入”评级。 风险提示：下游fab厂扩产不及预期，清洗设备验证不及预期，零部件采购风险。

     至纯科技(603690) 事件 8月21日，公司披露关于以集中竞价交易方式回购股份方案的公告，拟用不低于人民币3,000万元（含），不超过人民币6,000万元（含）回购股份用于实施股权激励。 9月27日，公司披露关于以集中竞价交易方式回购公司股份的进展公告，截至2023年9月27日，公司本次回购已累计回购股份74.946万股。 投资要点 回购股份用于未来股权激励，彰显公司信心。8月21日，公司披露关于以集中竞价交易方式回购股份方案的公告，拟用不低于人民币3,000万元（含），不超过人民币6,000万元（含）回购股份用于实施股权激励；回购价格为不超过人民币44.42元/股（含），该价格不高于公司董事会通过回购决议前30个交易日公司股票交易均价的150%；回购期限为自董事会审议通过本次回购股份方案之日起6个月内，即2023年8月21日至2024年2月20日。9月27日，公司披露关于以集中竞价交易方式回购公司股份的进展公告，截至2023年9月27日，公司本次回购已累计回购股份74.946万股，占公司总股本的比例为0.1938%，购买的最高价为26.94元/股、最低价为26.50元/股，已支付的总金额为2,000.068万元（不含印花税、佣金等交易费用）。回购的股份将在未来适宜时机全部用于股权激励，以进一步建立、健全公司长效激励机制和利益共享机制，充分调动公司员工的积极性，吸引和留住优秀人才，提升企业凝聚力和核心竞争力，促进公司健康可持续发展。 营收利润稳增长，充沛在手订单支撑未来业绩。23H1公司现收入14.80亿元，同比+32.13%；实现归属于母公司所有者净利润1.09亿元，同比+33.67%；23H1末总资产为112.81亿元，较上年末+14.67%。截至23H1，公司新增订单总额为32.66亿元，同比+38.28%，新增订单中73.65%为半导体行业，其余为泛半导体和生物医药行业；截至23H1末，在手订单53.23亿元，充沛在手订单支撑未来业绩。23H1公司业务取得瞩目表现： 1）制程设备业务深度继续抵进。公司旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一，目前湿法设备在28nm节点已全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。至微的S300SPM机台已交付给多家国内主流晶圆厂，并已经应用于国内头部客户的12英寸逻辑量产线，月产能最高可达6万片次以上，目前至微是国内单片硫酸设备（湿法设备中难度最高的工艺机台）达到上述单机台量产指标的唯一厂商。成熟制程方面，公司湿法设备产品线有序拓展，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高。先进制程方面，在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后，但对于高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司的交付和验证进度国内领先。 2）以支持设备为主的高纯工艺系统集成业务订单再创新高。公司已成为国内最大的高纯工艺系统支持设备供应商，核心客户均为行业一线用户如中芯国际、华虹、华力、华为、长江存储、合肥长鑫、士兰微等，有效替代并改变了原先由国外气体公司垄断的供给格局。 3）电子材料及核心零部件业务稳步推进。23H1公司的大宗气业务已经稳定创收；同时，大宗气站的新业务拓展进程顺利。由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化的12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂指标完全达标，目前已持续稳定供气达到1.5年，成功打破国际供应商对先进制程大宗气的垄断，实现国内自主大宗气站零的突破。另外，合肥的晶圆再生和腔体部件再生的业务量开始进入稳定爬坡；TGM/TCM的驻厂服务有序开展，部分腔体部件开始验证。公司也已开始布局电子材料方面。 投资建议 我们预计公司2023/2024/2025年分别实现收入41/51/61亿元，实现归母净利润分别为4.74/6.56/8.30亿元，当前股价对应2023-2025年PE分别为22倍、16倍、13倍，首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示 行业发展风险；经营风险；人力资源和管理风险；各类金融风险。

     至纯科技(603690) 公司2023H1营收稳定增长，维持“买入”评级 公司2023年H1实现营业收入14.8亿元，YoY+32.13%；实现归母净利润1.09亿元，YoY+33.67%；扣非净利润0.83亿元，YoY-14.73%；毛利率34.96%，YoY-1.13pcts；其中2023Q2实现营收6.96亿元，YoY+21.57%，QoQ-11.28%；实现归母净利润0.46亿元，YoY-22.52%，QoQ-26.5%；扣非净利润0.25亿元，YoY-56.84%，QoQ-56.17%；毛利率36.12%，YoY-0.8pcts，QoQ+2.19pcts。短期受晶圆厂资本开支下降及公司费用率上升影响，我们下调公司盈利预测，预计2023/2024/2025年归母净利润为3.85/5.53/6.69亿元（前值为4.8/6.18/7.38亿元），预计2023/2024/2025年EPS为1.00/1.43/1.73元（前值为1.49/1.92/2.29元），当前股价对应PE为27.4/19.1/15.8倍。公司是国内湿法设备龙头，技术实力强大，国产替代趋势下，市占率有望持续提升，维持“买入”评级。 在手订单增速高，湿法设备国产化率有望进一步提升 面对半导体产业进入周期性调整阶段，公司深化现有产品线渗透率，加强材料及部件端业务拓展。2023H1公司累计在手订单53.23亿元，其中新增订单32.66亿元，YoY+38.28%，半导体行业占新增订单73.65%。分主要子公司看，至纯集成2023H1营收4.71亿元，YoY+59.02%，净利润1.06亿元，YoY+134.35%；至微半导体营收3.8亿元，YoY-17.46%，净利润-0.94亿元，YoY-1.15亿元；珐成浩鑫营收0.84亿元，YoY+156.79%，净利润0.14亿元，YoY+283.46%；波汇科技营收0.87亿元，YoY+44.49%，净利润-0.14亿元，YoY+0.17亿元。分产品看，湿法设备：公司单片硫酸设备S300SPM机台已交付多家国内主流晶圆厂，并已应用于国内头部12英寸逻辑量产线。高纯工艺系统：仍保持良好增长，订单再创新高。大宗气业务：国内首座完全国产化12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂已持续供气1.5年，新业务拓展进程顺利。晶圆再生：产品稳定爬坡，2023H2预期进入盈亏平衡并逐步进入利润贡献期。 风险提示：行业景气度复苏不及预期、客户导入不及预期、产品研发不及预期。

     至纯科技(603690) 公司简介 公司业务覆盖高纯工艺系统综合解决方案以及配套工程、厂务托管和后续运营维保等服务。公司下游覆盖泛半导体、生物医药等领域，中芯国际、京东方、扬子江药业等行业龙头均为公司客户。 投资逻辑 公司新签订单保持高速增长，高纯工艺系统业务基本盘稳固。我们认为公司的传统业务高纯工艺设备将持续高增长，主要基于：1）下游FAB、IDM客户新建厂房未受影响，公司在手订单饱满，22年公司合同负债为2.70亿（YoY+13%），1Q23合同负债达3.03亿元（YoY+23%）；2）国际贸易制裁加速半导体设备及零部件国产化进程，公司下游客户多元且需求稳定，根据公司公告，22年公司新签订单42亿元（YoY+31%），23年公司预计全年新签订单52~57亿元，同比增长24%~36%。 半导体制程设备品类丰富并向先进制程拓展，切入光伏领域获得批量订单。制程设备为公司带来新增长主要基于：1）根据中国国际招标网数据，22年中国湿法设备市场前四大供应商份额合计达96%，其中盛美上海以25%的份额位列第二，其他三家均为海外厂商；2）22年公司率先突破14nm及以下制程湿法设备并实现4台订单交付，拓展了国内光伏市场需求较大的涂胶显影设备、炉管设备等；3）公司制程设备主要客户中芯国际、华润微22年用于购建固定资产、无形资产以及其他长期资产支付的现金分别同比增长49%和69%。公司22年新增制程设备订单18亿元，同比增长60%，预计23年新增订单20~25亿，同比增长11%~39%。定向增发彰显公司长期发展信心。23年5月，公司定向增发拟募集资金不超过18亿，用于湿法设备核心零部件产业化项目、湿法设备及高纯工艺设备北方基地项目、启东半导体设备产业化项目。 盈利预测、估值与评级 预测2023~2025年公司将分别实现营收42.0/53.2/64.4亿元，同比+37.7%/26.7%/21.1%，考虑到公司高纯工艺系统业务行业领先，半导体制程设备放量在即，给予公司2024年35xPE，目标价51.1元/股，首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示 供应链风险；下游资本开支不及预期的风险；股东质押的风险；限售股解禁的风险。

     至纯科技(603690) 事件：公司发布2023 年一季报。 高纯工艺订单加速验收确认， Q1 收入端实现快速增长 2023Q1 公司实现营收 7.84 亿元，同比+43.16%，基本符合我们预期。 我们判断主要系在手订单较多， 随着疫情放开，高纯工艺订单加速确认收入，驱动营收端实现高速增长； 2022 年下半年以来美国制裁影响晶圆厂投产节奏， 半导体清洗设备交付受到一定影响，我们推测 Q1 收入同比表现一般。 2023Q1 公司新增订单 21 亿元， 在手订单持续创新高， 其中制程设备新增订单 2.12 亿元，半导体设备新接订单相比去年有一定下降， 我们判断主要系部分 3 月份在谈订单在 Q1 未能签订合同，延后到二季度。展望2023 年全年， 公司预计新增订单 52-57 亿元， 其中制程设备订单为 20-25亿元。随着相关订单陆续交付&确认收入，公司收入端有望延续高增长。 公允价值变动收益同比大幅改善， Q1 净利率略有提升 2023Q1 公司实现归母净利润 6268 万元，同比+186.28%；实现扣非归母净利润 5766 万元，同比+48.96%。 2023Q1 销售净利率和扣非销售净利率分别为 7.69%和 7.35%，分别同比+2.41pct 和+0.28pct。 1）毛利端： 2023Q1销售毛利率为 33.93%，同比-1.29pct， 我们判断主要系合肥零部件工厂正处于扩张期，前期人员&固定资产投入较大。 2）费用端： 2023Q1 期间费用率为 26.02%，同比+1.23pct，其中销售、管理、研发和财务费用率分别同比-1.00pct、 +0.74pct、 +0.01pct 和+1.49pct。 3） 2023Q1 公允价值变动净收益为 298 万元， 2022Q1 为-2252 万元，对利润端表现产生较大积极作用。 半导体清洗设备充分受益进口替代，布局耗材&服务打开成长空间 公司清洗设备具备持续扩张潜力，同时积极布局炉管、涂胶显影等领域。 1） 半导体清洗设备： 公司可满足 28nm 全部湿法工艺，且全工艺机台均有订单，核心工序段累计订单量近 20 台， 14nm 及以下也有 4 台订单交付，国产替代驱动下有望延续快速发展。 2）其他半导体设备： 公司积极研发拓展炉管和涂胶显影设备， 8 英寸炉管设备已有数台订单， 12 英寸炉管设备即将进入客户验证阶段， 8 英寸涂胶显影设备已交付客户验证。 此外，公司积极布局耗材&服务，进一步打开成长空间。 1）晶圆再生：合肥一期产能 7 万片/月已投产，是国内首条投产的 12 英寸晶圆再生产线，预计 2023 年达产， 二期规划产能 14 万片/月。 2）大宗气体： 正在投资建设半导体级的大宗气体工厂，为用户提供至少 15 年的高纯大宗气体整厂供应。 3）零部件： 2022 年募投新增单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目，研发高阶半导体湿法工艺模块、单片式腔体、高纯度阀等，适用于 14nm 及以下的逻辑及高密度存储芯片制造工艺及产业化。 盈利预测与投资评级： 我们维持公司 2023-2025 年归母净利润预测分别为 5.71、 7.86 和 10.11 亿元，当前市值对应动态 PE 分别为 24、 17 和 13倍。基于公司较高的成长性，维持“买入”评级。 风险提示： 新产品研发不及预期，订单客户突破不及预期等。